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等离子刻蚀
因为在分散进程中,即使选用背靠背分散,硅片的一切外表包含边际都将不可避免地分散上磷。PN结的正面所收集到的光生电子会沿着边际分散有磷的区域流到PN结的反面,而构成短路。因而,有必要对太阳能电池周边的掺杂硅进行刻蚀,以去掉电池边际的PN结。通常选用等离子刻蚀技能完结这一技能。等离子刻蚀是在低压状态下,反响气体CF4的母体分子在射频功率的激发下,发生电离并构成等离子体。等离子体是由带电的电子和离子构成,反响腔体中的气体在电子的碰击下,除了转变成离子外,还能吸收能量并构成许多的活性基团。活性反响基团因为分散或许在电场效果下抵达SiO2外表,在那里与被刻蚀资料外表发生化学反响,并构成蒸发性的反响生成物脱离被刻蚀物质外表,被真空体系抽出腔体。
六、镀减反射膜
抛光硅外表的反射率为35%,为了削减外表反射,进步电池的变换功率,需求堆积一层氮化硅减反射膜。工业出产中常选用PECVD设备制备减反射膜。PECVD即等离子增强型化学气相堆积。它的技能原理是运用低温等离子体作能量源,样品置于低气压下辉光放电的阴极上,运用辉光放电使样品升温到预订的温度,然后通入适当的反响气体SiH4和NH3,气体经一系列化学反响和等离子体反响,在样品外表构成固态薄膜即氮化硅薄膜。通常情况下,运用这种等离子增强型化学气相堆积的办法堆积的薄膜厚度在70nm摆布。这么厚度的薄膜具有光学的功能性。运用薄膜干与原理,可以使光的反射大为削减,电池的短路电流和输出就有很大添加,功率也有适当的进步。
七、丝网打印
太阳电池经过制绒、分散及PECVD等工序后,现已制成PN结,可以在光照下发生电流,为了将发生的电流导出,需求在电池外表上制作正、负两个电极。制作电极的办法许多,而丝网打印是现在制作太阳电池电极较普遍的一种出产技能。丝网打印是选用压印的方法将预订的图形打印在基板上,该设备由电池反面银铝浆打印、电池反面铝浆打印和电池正面银浆打印三有些构成。其作业原理为:运用丝网图形有些网孔透过浆料,用刮刀在丝网的浆料部位施加必定压力,一起朝丝网另一端移动。油墨在移动中被刮刀从图形有些的网孔中挤压到基片上。因为浆料的粘性效果使印迹固着在必定范围内,打印中刮板一直与丝网印版和基片呈线性触摸,触摸线随刮刀移动而移动,然后完结打印行程。
八、敏捷烧结
经过丝网打印后的硅片,不能直接运用,需经烧结炉敏捷烧结,将**树脂粘合剂焚烧掉,剩余简直纯粹的、因为玻璃质效果而密合在硅片上的银电极。当银电极和晶体硅在温度到达共晶温度时,晶体硅原子以必定的份额融入到熔融的银电极资猜中去,然后构成上下电极的欧姆触摸,进步电池片的开路电压和填充因子两个要害参数,使其具有电阻特性,以进步电池片的变换功率。
烧结炉分为预烧结、烧结、降温冷却三个期间。预烧结期间意图是使浆猜中的高分子粘合剂分化、焚烧掉,此期间温度渐渐上升;烧结期间中烧结体内完结各种物理化学反响,构成电阻膜构造,使其真实具有电阻特性,该期间温度到达峰值;降温冷却期间,玻璃冷却硬化并凝结,使电阻膜构造固定地粘附于基片上。
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